以氦為示漏氣體的真空質(zhì)譜檢漏儀，泄漏檢測(cè)設(shè)備是一種真空檢漏中的高靈敏度、普遍應(yīng)用的檢漏裝置，由真空系統(tǒng)、離子源、電子線(xiàn)路、接收器、分析器及其它電氣部分所構(gòu)成。

　　目前，泄漏檢測(cè)設(shè)備裝置多是磁偏轉(zhuǎn)型的。本文將以諾益180°的磁偏轉(zhuǎn)型泄漏檢測(cè)設(shè)備儀為例進(jìn)行其主要參數(shù)的簡(jiǎn)述。

　　1、清除時(shí)間、反應(yīng)時(shí)間的測(cè)定

　　清除時(shí)間與反應(yīng)時(shí)間可以表征檢漏儀的動(dòng)態(tài)特性。通常是規(guī)定泄漏檢測(cè)設(shè)備的清除時(shí)間與反應(yīng)時(shí)間要小于3s。清除時(shí)間與反應(yīng)時(shí)間與檢漏裝置的真空系統(tǒng)的抽速、體積以及流導(dǎo)等抽氣系統(tǒng)參數(shù)所密切相關(guān)，也受離子流放大器等電子學(xué)線(xiàn)路的時(shí)間常數(shù)所影響。若檢漏裝置中含有能吸收或放出氮?dú)獾牧慵虿牧?，也?huì)影響清除時(shí)間與反應(yīng)時(shí)間的測(cè)定。當(dāng)輸出指示與漏率為非線(xiàn)性關(guān)系時(shí)，會(huì)導(dǎo)致清除時(shí)間與反應(yīng)時(shí)間的測(cè)定出現(xiàn)誤差。

　　2、工作真空、極限真空與節(jié)流閥處的抽速

　　在泄漏檢測(cè)設(shè)備的使用和選擇時(shí)，需留意極限真空、工作真空及節(jié)流閥的抽速，均為裝置的重要參數(shù)。

　　在檢漏時(shí)，被檢設(shè)備有可能存在漏氣，也會(huì)有出氣，若不采用輔助真空抽氣系統(tǒng)，則被檢設(shè)備的漏氣與虛漏的總氣流量就要全部通過(guò)泄漏檢測(cè)設(shè)備儀的檢測(cè)。

　　越高的工作壓力，在節(jié)流閥處會(huì)有越大的抽速，檢漏裝置就越能在惡劣條件下適應(yīng)，而后進(jìn)行檢漏，這對(duì)大真空器件的檢漏尤其需要重視。

　　比較小的真空器件，只適用于去氣較好的、小型的裝置檢漏。裝置的工作壓力不應(yīng)設(shè)計(jì)太低，因?yàn)樵跈z漏裝置運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，要達(dá)到較低的工作壓力是需要話(huà)比較長(zhǎng)的時(shí)間的。一般工作壓力選擇在10Pa-10Pa的壓力范圍內(nèi)。

　　在利用泄漏檢測(cè)設(shè)備進(jìn)行真空鍍膜檢漏時(shí)，若質(zhì)譜室中壓力過(guò)低，需要利用針閥將氣量放入，使質(zhì)譜室的壓力達(dá)到工作壓力值。放入氣量越大，裝置此氣體濃度以及儀器靈敏度就越高，越有利于檢漏。進(jìn)行很大的出氣和漏氣的被檢真空室的檢漏時(shí)，節(jié)流閥抽速與工作壓力也是越大越好。因?yàn)榇藭r(shí)需通過(guò)輔助真空系統(tǒng)來(lái)起分流作用，使其檢漏靈敏度降低，用以幫助儀器抽氣。但節(jié)流閥抽速與工作壓力越大，輔助真空裝置的分流作用則會(huì)越小，也會(huì)降低一點(diǎn)檢漏的靈敏度。